潔凈室工程的技術(shù)參數(shù)有哪些？

一般情況下潔凈室工程技術(shù)參數(shù)主要有：

換氣次數(shù)：十萬(wàn)級(jí)10－15次/小時(shí)；萬(wàn)級(jí)15－25次/小時(shí)；千級(jí)50－52次/小時(shí);

百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速：0.25-0.35m/s。

壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa。

溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季＜26℃±2℃；

相對(duì)濕度：45－65％（RH）；噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20％－30％；

照度：≥300Lux。

下面介紹一下潔凈室工程的基本參數(shù)和特殊參數(shù)：

一、基本參數(shù)

1、潔凈度

潔凈度是潔凈室的重要基本的技術(shù)指標(biāo)。其單位是：?jiǎn)挝惑w積的空氣中粒徑不小于某一尺度的微粒個(gè)數(shù)。尤其是微電子行業(yè)對(duì)于潔凈室的要求較高。

2、微生物濃度

微生物濃度是潔凈室的另一項(xiàng)重要技術(shù)指標(biāo)。其單位是：?jiǎn)挝惑w積的空氣中微生物個(gè)數(shù)。生物工程行業(yè)對(duì)于微生物濃度的要求較高，其次是醫(yī)療、制藥、食品、飲料、化妝品等行業(yè)。空氣中的微生物是空氣微粒的一部分，確切的說(shuō)是危害較大的一部分。通常測(cè)定的是空氣中細(xì)菌的濃度。

3、溫度

溫度是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對(duì)于溫度都有明確的要求。溫度會(huì)影響植體的尺度，從而影響加工的度，從而影響加工的度，所以精密加工對(duì)于溫度有相當(dāng)嚴(yán)格的要求。溫度會(huì)影響儀器的參數(shù)，從而產(chǎn)生測(cè)定誤差，所以精密測(cè)量?jī)x器對(duì)于溫度的要求也較高。

4、濕度

濕度也是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對(duì)于濕度都有明確的要求。濕度過(guò)大會(huì)使許多物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至使設(shè)備失效，產(chǎn)品報(bào)廢。濕度過(guò)低又會(huì)使許多物質(zhì)脫水變形，失去原有的功能。

5、風(fēng)速與風(fēng)量

足夠的風(fēng)速與風(fēng)量是潔凈度的保證，過(guò)大的風(fēng)速與風(fēng)量不僅浪費(fèi)能量，而且有時(shí)會(huì)影響正常的工作。

6、氣壓與壓差

正常的氣壓是正常工作的基本條件。必要的壓差是控制漏氣方向的手段。微電子行業(yè)的潔凈室為了保證潔凈度，不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區(qū)域泄露。病毒實(shí)驗(yàn)室或傳染病房不允許室內(nèi)空氣向室外泄露。

7、噪聲

過(guò)大的噪聲不僅會(huì)影響正常的工作，而且會(huì)影響人員的身體健康，降低噪聲是潔凈度的一項(xiàng)基本要求。

8、照度

適當(dāng)?shù)恼斩仁钦９ぷ鞯谋匾獥l件。

二、特殊參數(shù)

1、振動(dòng)

振動(dòng)會(huì)影響儀器設(shè)備的穩(wěn)定性，從而影響儀器的準(zhǔn)確度，還會(huì)影響設(shè)備的加工度，所以有些潔凈室需要控制振動(dòng)。

2、靜電

靜電有許多危害，特別容易損壞微電子元件，所以微電子行業(yè)采取相應(yīng)的防護(hù)措施，預(yù)防靜電的產(chǎn)生或者使產(chǎn)生的靜電能夠及時(shí)泄漏，以減少靜電對(duì)電子行業(yè)所造成的損失。

3、有害氣體濃度

有害氣體的種類繁多，有的會(huì)損害人體健康，有的會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品合格率，所以潔凈度需要控制有害氣體濃度。

4、輻射強(qiáng)度

X射線、Y射線、電磁波等輻射對(duì)人體有較大的的損害，有時(shí)對(duì)生產(chǎn)設(shè)備或產(chǎn)品也有損害。