無(wú)塵室與落塵量

無(wú)塵室是在工業(yè)生產(chǎn)、生物研究或醫(yī)學(xué)方面，對(duì)室內(nèi)潔凈度、溫濕度、壓力、噪音、照明等等方面都嚴(yán)格控制的空間。而落塵量就是指空氣中飄游的微塵粒子量的多少。就如同降水量，是指降水的多少一樣。落塵量是測(cè)試無(wú)塵車間潔凈度的。

下面以業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)為例來(lái)對(duì)落塵量這個(gè)概念做以解釋說(shuō)明：

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)。

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