潔凈車間的氣流系統(tǒng)

潔凈室通過使用HEPA或ULPA過濾器，采用層流（單向流）或湍流（亂流，非單向流）氣流原理，來控制空氣中的顆粒。層流或單向氣流系統(tǒng)將過濾的空氣恒定的流向下或水平方向引導(dǎo)到位于潔凈室地板附近墻壁上的過濾器，或通過凸起的穿孔地板進(jìn)行再循環(huán)。層流空氣流動(dòng)系統(tǒng)通常在潔凈室天花板的80%上使用，以保持恒定的空氣。不銹鋼或其他非脫落材料用于構(gòu)造層流空氣流動(dòng)過濾器和罩，以防止多余的顆粒進(jìn)入空氣。

湍流，或非單向空氣流動(dòng)使用層流空氣流動(dòng)罩和非特定速度過濾器來保持潔凈室中的空氣在恒定的運(yùn)動(dòng)，盡管不是所有的方向相同。粗糙的空氣試圖捕獲可能存在于空氣中的顆粒，并將它們驅(qū)趕到地板上，在地板上它們進(jìn)入過濾器并離開潔凈室環(huán)境。

有的地方也會(huì)增加矢量潔凈室：在房間的側(cè)上角送風(fēng)，采用扇形高效過濾器，也可以用普通高效過濾器配扇形送風(fēng)口，在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口，房間的高長(zhǎng)比一般在0.5-1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(jí)（100級(jí)）潔凈度。

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